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[期刊论文] 作者：钟林健,邢艳辉,韩军,王凯,朱启发,范亚明,邓旭光,张宝顺,,
来源：中国激光 年份：2015
利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上制备了Ga N∶C薄膜。为得到高阻(或半绝缘)的Ga N薄膜,研究了源(CCl4)流量和载气对MOCVD外延Ga N薄膜电学性能的影响,...
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