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[期刊论文] 作者：B.J.Stocker,阎彦娥,
来源：应用光学 年份：1989
用二步激活工艺将GaAs外延层激活成负电子亲和势。该工艺步骤包括:真空热清除和铯、氧激活、随后的第二次加热,使铯部分地解吸,并再次用铯、氧激活。在第一次激活期间,俄歇能...
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