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[会议论文] 作者：胡振宇,陳肇和,朱維屏,張淑美,莊賦祥,洪鵬翔,陳冠志,余清美,
来源：第十三届全国太阳能光化学与光催化学术会议 年份：2012
本研究以电浆激发化学气相沉积(PECVD)法沉积二氧化钛薄膜，利用氬气(100 sccm)输送四异丙基钛酸酯(Ti (OC3H7)4)之蒸气，以氧气(15 sccm)当电浆激发气体产生反应，沉积二氧化...
[会议论文] 作者：胡振宇,陳肇和,張淑美,莊賦祥,余清美,洪鵬翔,陳冠志,朱維屏,
来源：第十三届全国太阳能光化学与光催化学术会议 年份：2012
本研究以电浆激发化学气相沉积(PECVD)法沉积二氧化钛薄膜，利用氬气(100 sccm)输送四异丙基钛酸酯(Ti (OC3H7)4)之蒸气，以氧气(15 sccm)当电浆激发气体产生反应，沉积二氧化钛触媒薄膜於玻璃)基板上，主要改变不同电浆电源功率(200～300 W)，以提升光触媒薄膜特性，接著利用......
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