搜索筛选:
搜索耗时0.0463秒,为你在为你在61,042,058篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：陈爱莲,隆界龙,陈杨,
来源：常州大学学报:自然科学版 年份：2020
通过分子动力学研究化学机械抛光过程中非晶SiO 2团簇与单晶硅的微观接触行为,采用Tersoff势函数模拟了SiO 2/Si之间的内部和表面交互作用。在考虑存在微观尺度黏着力及抛光...
相关搜索：
