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[学位论文] 作者：韩欣玉,,
来源：河北工业大学 年份：2018
目前,集成电路（IC）按照摩尔定律飞速发展,对晶体管的集成达到超大规模阶段,布线层数超过十层,对超精密平坦化加工技术的精度提出更高的要求和挑战。CMP技术是唯一能够实现材料...
[期刊论文] 作者：韩欣玉, 何平, 潘国峰, 刘一赛, 张万发,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2018
针对压力传感器受温度漂移影响而造成的精度和可靠性下降的问题,建立粒子群优化算法与支持向量回归机结合的PSO.SVR温度补偿模型。利用PSO优化SVR的惩罚系数和核参数,改善粒...
[期刊论文] 作者：何平,罗萌,韩欣玉,郭文艺,潘国峰,
来源：微电子学 年份：2020
在多层Cu布线化学机械抛光(CMP)工艺中,碱性抛光液组分是影响CMP平坦化效果的重要因素.建立了基于PSO-SVM机器学习算法的模型,将化学机械抛光液组分(磨料、氧化剂、活性剂、...
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