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[期刊论文] 作者:邹庆生,查良镇,刘容,马农农,韩象明, 来源:真空科学与技术 年份:1996
评述砷化镓中硅SIMS定量分析的进展,讨论了相对灵敏度因子法。对此种GaAs的原始参考物质,用实验确认了其可靠性。为常规定量分析研制了二次参考物质。对一些关键实验因素,如样品......
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