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[学位论文] 作者:顾凌嘉,, 来源: 年份:2013
在大规模集成电路制造和光学检测等领域都需要应用精密定位平台。随着技术的进步,对于定位平台的精度、速度和加速度的要求也越来越高。传统的旋转电机加滚珠丝杠结构已经难以......
[期刊论文] 作者:顾凌嘉,张刚,刘品宽, 来源:机电一体化 年份:2012
与传统的旋转电机相比,永磁同步直线电机伺服系统由于减少了滚珠丝杠、齿轮等一系列的中间传输环节,结构更加紧凑简单,精度可以进一步提高;但是与此同时,直线电机伺服系统更容易受......
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