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[期刊论文] 作者：魏存露, 花国然, 王强,,
来源：机械设计与制造 年份：2018
基于FLUENT进行了数值模拟试验,探讨了匀胶托盘几何参数对硅片形变的影响。研究结果表明:在相同真空负压作用下,当承片台直径D小于30mm时,硅片的形变主要为翘曲变形;当承片台...
[期刊论文] 作者：魏存露,花国然,王强,,
来源：工程塑料应用 年份：2016
以广泛应用于旋涂功能薄膜工艺中的聚甲醛(POM)匀胶托盘为研究对象,基于数值仿真及实验研究,对现有POM托盘工作中的缺陷进行了分析,结果表明,螺旋托盘基片因发生翘曲形变而易...
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