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[学位论文] 作者:魏广路,, 来源: 年份:2013
硅基F-P热光可调谐滤波器具有成本低,容易集成的优势,在光学精密测量和波长转换领域有广阔的应用前景,但做为滤波器介质层的核心材料,a-Si:H薄膜在制备过程中,其折射率和表面形貌......
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