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[期刊论文] 作者：杨恢东, 夏锦辉, 彭斯冉, 张婧妍, 鲍飞雄, 刘雅晴,,
来源：光子学报 年份：2004
采用直流反应磁控溅射法在氧化铟锡（ITO）玻璃上溅射一层掺氧含量为30%的氧化钨薄膜(WOX)，并在此基础上溅射了掺氧含量不同的氧化钽薄膜(TaOX)。利用X射线衍射仪以及能谱仪对氧化...
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