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[期刊论文] 作者：唐胜,黄建晟,
来源：集成电路应用 年份：2019
扩散炉管加热制程中分为湿式及干式氧化,厚度较厚的场区氧化层都使用湿式氧化方法,透过使用 氢气及氧气混合加热后产生水汽进入到炉管内部,与衬底基板反应生成二氧化硅。发现...
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