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[期刊论文] 作者：黄强先,権太聪,三隅伊知子,黑澤富藏,,
来源：机械工程学报 年份：2008
通过与长度溯源三轴激光干涉仪测量系统结合,设计开发计量型动态模式原子力显微镜(AFM).此AFM系统中,三轴激光干涉仪系统用于实时测量AFM测头与试样的相对位移.激光干涉仪系...
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