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[期刊论文] 作者：A. J.S. Fernandes,M.J.,
来源：新型炭材料 年份：2004
研究了衬底温度、核化密度、衬底表而预处理等工艺参数对微波等离子体化学气相沉积法在硅片上同时生长碳化硅和金刚石的影响.采用扫描电镜、X-射线衍射、喇曼光谱和红外光谱...
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