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[期刊论文] 作者:M.P.Baze,A.H.Johnston,成福康, 来源:微电子学 年份:1987
采用各种实验技术的综合方法,发现了双极集成电路中的闭锁通道。用电压衬度扫描电子显微技术作为分析闭锁通道的内部探测。从6种器件上获得的数据表明,各种不同的通道组合和...
[期刊论文] 作者:A.H.Johnston,M.P.Baze,蔡永才, 来源:微电子学 年份:1986
本文讨论了确定集成电路锁存通道的一些实验方法,这些方法已用于多种器件工艺。为了寻找锁存敏感区,用了一种可克服小面积束的固有剂量问题的特殊实验结构来进行局部激光辐照...
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