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[期刊论文] 作者：黎晓琴,A.P.Troup,,
来源：真空与低温 年份：1992
介绍了1984年至1990年期间干式排气技术所取得的进展情况。干式排气泵研制方面日本处于世界领先地位。在解决了粉尘、腐蚀性蒸气以及泵内残存物的抽除等问题之后,干气排气技...
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