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[期刊论文] 作者：CharlesSchaper,李宗亚,
来源：微电子技术 年份：1995
在RTP半导体器件制造设备中；为控制硅片温度的均匀性和重复性，采用了一种实时多变的策略。它基于工艺的物理模型，采用实验设计程序来估算模型参数。轴心对称加热区域中多区阵列......
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