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[期刊论文] 作者：D.Frohman-Bentchkowsky,向阳,
来源：电子计算机参考资料 年份：1971
氮化硅淀积技术的新进展,导致金属-氮化物-氧化物-硅(MNOS)集成电路工艺的出现,成为现有MOS工艺的另一选择和补充方案。有人提出将MNOS场效应晶体管用于逻辑电路(取代MOS晶体...
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