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[期刊论文] 作者:Dale Johnson,李婷婷,, 来源:中国集成电路 年份:2019
1测试背景MEMS技术应用使得金属氧化物(MOX)气体传感器在晶圆级大规模生产中得以广泛应用,大大降低了硅晶圆制造的成本。气体传感器的功能是对一氧化碳(CO)和各种挥发性有机化合物(如:如乙醇、丙酮和甲苯)进行精确测量。主要应用于健康和安全方面,包括环境监测......
[期刊论文] 作者:Dale Johnson,李婷婷(译), 来源:中国集成电路 年份:2019
1测试背景MEMS技术应用使得金属氧化物(MOX)气体传感器在晶圆级大规模生产中得以广泛应用,大大降低了硅晶圆制造的成本。气体传感器的功能是对一氧化碳(CO)和各种挥发性有机...
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