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[会议论文] 作者：Alex Azzarpardi,Dermot Monaghan,V.Bellido-Gonzalez,Robert Brown,
来源：2012年广东省真空学会学术年会 年份：2012
介绍一种不同于传统的磁场设计的新型的两个相邻旋转磁场形成的相连磁域的设计。此相连磁域具有改变基材等离子状态、更好控制等离子区中电子的运动及减少基材的受热的优...
[会议论文] 作者：Dermot Monaghan,V.Bellido-Gonzalez,Robert Brown,Alex Azzarpardi,
来源：2012年广东省真空学会学术年会 年份：2012
磁控溅射是真空沉积获得蒸发源的最广泛使用的技术。本文介绍了英国Gencoa公司一种新型的旋转磁控阴极，不同于传统的磁场设计，它拥有两个相邻旋转磁场形成的相连磁域，这种旋转阴......
Fast reactive feedback process control using a chalcogen pulsed cracker effusion valve for industria
[会议论文] 作者：BRIONES,Victor Bellido-GONZ(A)LEZ,Ambi(o)rn WENNBERG,Marcos PENEDO,Benoit DANIEL,Joseph BRINDLEY,Dermot MONAGHAN,
来源：SNEC 第七届(2013)国际太阳能产业及光伏工程(上海)论坛 年份：2013
This paper shows a fast process control for reactive deposition of semiconductor chalcogen compounds,such as CIG(S,Se) absorbers and S-based buffer layers (Indium or Zinc Sulphides).A Plasma Emission...
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