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[期刊论文] 作者：G·CHANG,刘林生,
来源：半导体技术 年份：1986
本文叙述了等离子体接触刻蚀的精确就地检测法.这种电终点检测法提供了一个直流电流,该电流与总的开口接触面积成正比,而且信嗓比比光学技术高一个数量级.显然,终点检测对于...
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