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Nitrogen Contents on Tribological Properties of Magnetron Sputtered SiCN Coatings
[期刊论文] 作者：TIETUNSUN,Y.Q.FU,J.WEI,H.J.DU, 来源：材料热处理学报 年份：2004
Silicon carbonitride (SiCN) coatings were deposited on silicon and tungsten carbide substrates by co-sputtering silicon and carbon in argon and nitrogen mixture...
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