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[期刊论文] 作者：H.L.Caswell,舒名祥,,
来源：世界科学译刊 年份：2004
本文的重点放在硅大规模集成电路(LSI)工艺和终端上,不讨论其他重要领域。这不是说这些领域没有重大进展或将来也不会有重大进展,而是因为估计到八十年代这些领域大概不会有...
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