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[期刊论文] 作者：K.Maekawa,H.Nagai,M.Iwashita,M,
来源：电子工业专用设备 年份：2005
We investigated single damascene integration with Porous MSQ (Methyl-Silsesqui-oxane, k value is 2.3) and Spin on Low k MSQ (k value is 2.9) as hard mask on Por...
[期刊论文] 作者：Md.Zulhash Uddin,K.Maekawa,H.O,
来源：长江流域资源与环境 年份：2004
最近，小型倾斜河流中的阶梯形鱼道建筑以它的简易与实用而变得日益重要。在这种鱼道中出现的滚动流将产生波涌，并继续向下传播，而且它的周期性滚动可能会严重危害鱼道。因此，我们......
[期刊论文] 作者：K.Maekawa,S.Morita,王瑄,,
来源：国外汽车 年份：1986
一、前言缸体对发动机产生噪声的影响最大,山于其结构复杂,用简单的计算方法来预测缸体产生的噪声和振动是困难的。目前,有限元、模态试验分析和激光全息摄影的应用已日渐增...
[期刊论文] 作者：N.Kumar, D.L.Diehl, K.Maekawa,K.Mori,K.Kobayashi,M.Yoneda,
来源：电子工业专用设备 年份：2005
随着金属导线线宽的不断缩小,在90nm 技术以下,刻蚀残留物的存在会在应力迁移测试中形成高通孔电阻和空洞成核现象。物理氩离子预清洗是一种去除残留物的有效方法。但在应力...
IMPROVEMENT IN PARAMETRIC AND RELIABILITY PERFORMANCE OF 90NM DUAL -DAMASCENE INTERCONNECTS USING AR
[期刊论文] 作者：N.Kumar,S.Chu,D.L.Diehl,K.Maekawa,K.Mori,K.Kobayashi,M.Yoneda,,
来源：集成电路应用 年份：2005
As interconnects shrink beyond 90nm node, the presence of etch residues can createhigh via resistance and void nucleation during stress migration (SM) testing....
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