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[期刊论文] 作者：D.G.J.Sutherland,KLA-Tencor Co,
来源：电子元器件资讯 年份：2004
本文简述了α风险和β风险的概念并阐述了检测机台的捕获率,重复性以及晶片抽样区域对这些风险的影响.加州大学伯克利分校和KLA-Tencor公司联合开发的统计模型可用来显示缺陷...
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