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Effect of polishing parameters on abrasive free chemical mechanical planarization of semi-polar (11-
[期刊论文] 作者：Khushnuma Asghar,D.Das,
来源：城市道桥与防洪 年份：2016
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
Effect of polishing parameters on abrasive free chemical mechanical planarization of semi-polar(1122
[期刊论文] 作者：Khushnuma Asghar,D.Das,,
来源：Journal of Semiconductors 年份：2016
An abrasive free chemical mechanical planarization(AFCMP) of semi-polar(1122) Al N surface has been demonstrated. The effect of slurry p H, polishing pressure,...
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