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[期刊论文] 作者：刘天柱,Kiyotaka Wawa,张淑仪,水修基,陈培狄,,
来源：南京大学学报：自然科学版 年份：2003
氧化锌是一种重要的压电与光电材料.用粉靶代替常规的固体陶瓷靶溅射沉积ZnO薄膜,对基底的加热温度、溅射气压和氧气的混合比率等沉积条件对氧化锌薄膜特性的影响进行了研究....
[期刊论文] 作者：刘天柱,Kiyotaka Wawa,张淑仪,水修基,陈培狄,,
来源：南京大学学报(自然科学版) 年份：2003
氧化锌是一种重要的压电与光电材料.用粉靶代替常规的固体陶瓷靶溅射沉积ZnO薄膜,对基底的加热温度、溅射气压和氧气的混合比率等沉积条件对氧化锌薄膜特性的影响进行了研究....
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