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[期刊论文] 作者：MASAO FUKUTOMI,杨礼萍,,
来源：国外金属热处理 年份：1986
本文是从放电的特性和每种工艺沉积质量的观点出发,比较研究了用直流和射频放电方式在铜上离子镀碳化钛薄膜。在直流放电法中样品电流可达到很高的值,化学计量的Ti沉积膜可在...
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