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[期刊论文] 作者:杨晓燕, 尤立星, 张礼杰, 黄少铭, Mintu Mond,
来源:低温与超导 年份:2010
超导纳米线单光子探测器件(SNSPD)是超导单光子探测系统的核心器件。文中介绍了成功制备的基于5nm厚的NbN超导超薄薄膜的SNSPD器件。器件核心结构为150nm宽的纳米曲折线结构,...
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