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[期刊论文] 作者：N、C、I,钱士青,,
来源：微处理机 年份：1979
近十年来,扫描电镜(SEM)一直用在复杂集成电路的失效分析这个毫无疑义的质量控制中。但这些应用大多是作金属布线的连续生、线宽、金属膜厚度和结深的半定量测试,以及电压对...
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