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[期刊论文] 作者：Nomu.,T,谢中生,
来源：电子工业专用设备 年份：1995
采用短波长光源，制作小于０．５μｍ线宽的ＶＬＳＩ芯片，对准精度必须是０．１μｍ甚至更小。该报告介绍掩模对准台在机械方面的改进，诸如Ｘ、Ｙ向位移精度的提高，Ｚ向精度的实现和俯仰运动的控制。典型样机和高......
[期刊论文] 作者：Nomu.,K,杨和平,
来源：生物科学动态 年份：1989
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