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[期刊论文] 作者：O.Aina,P.Keanedy,夏前文,
来源：微电子学 年份：1985
我们采用深能级瞬态波谱(DLTS法)检测了以硼硅玻璃为源的高温扩散工艺所产生的缺陷。已测到的缺陷能级为:E_c—0.12,E_c—0.26,E_c—0.36,E_c—0.55和E_v+0.23eV。业已表明:...
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