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[期刊论文] 作者：P.里西曼,M.P.C.瓷茨,杨树芬,
来源：微细加工技术 年份：1983
电子束曝光时,由于抗蚀剂层和衬底中电子散射的作用,使抗蚀剂产生不希望的曝光,这种现象就是邻近效应。它导致图形特征尺寸与设计值的差异。这是采用电子束曝光方法制作高分...
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