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[期刊论文] 作者：Delahoy A E,Guo S Y,Paduraru C,
来源：太阳能 年份：2014
研究了薄膜沉积方法,基于空心阴极金属溅射,在基材附近提供反应气体.工作气体和携带溅射原子通过一个狭长通道从阴极出来,这样,反应气体被阻止到达靶面.用Cu靶和脉冲电源激励...
[期刊论文] 作者：Delahoy A E,Guo S Y,Paduraru C,
来源：太阳能 年份：2014
2 实验结果和讨论rn2.1 阴极和沉积特性rn典型空心阴极I-V特性如图2所示,HC中有铜靶块并用氩气作为工作气体.在气流量和放电电流一定时,压强越低需放电电压越高.在给定真空室...
[期刊论文] 作者：Delahoy A E,Guo S Y,Paduraru C,
来源：太阳能 年份：2014
2.4 ZnO掺杂透明导电氧化物沉积rn透明导电氧化物薄膜,例如SnO2、ITO、ZnO,有很多应用,如建筑玻璃、汽车、显示器、光伏器件.制备掺杂氧化锌膜用射频或脉冲直流溅射陶瓷靶,它...
[期刊论文] 作者：范崇治,Delahoy A E,Guo S Y,Paduraru C,,
来源：太阳能 年份：2014
研究了薄膜沉积方法,基于空心阴极金属溅射,在基材附近提供反应气体。工作气体和携带溅射原子通过一个狭长通道从阴极出来,这样,反应气体被阻止到达靶面。用Cu靶和脉冲电源激...
[期刊论文] 作者：Delahoy A E,Guo S Y,Paduraru C,范崇治,,
来源：太阳能 年份：2014
2.4 ZnO掺杂透明导电氧化物沉积透明导电氧化物薄膜,例如SnO2、ITO、ZnO,有很多应用,如建筑玻璃、汽车、显示器、光伏器件。制备掺杂氧化锌膜用射频或脉冲直流溅射陶瓷靶,它...
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