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[期刊论文] 作者：Paem.,MV,吴庆红,
来源：压电与声光 年份：1991
电容硅微型加速度计可以采用静电力平衡结构来构成。这种闭合回路结构可通过改变反馈因数形成不同的测量范围。这样,用同一个加速度计可以测量从1μg—1g的输入加速度;同时可...
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