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[期刊论文] 作者：戴林君,徐雨,SIDDIG Eshraga.A.A.,王德信,
来源：东华大学学报：自然科学版 年份：2017
采用常压射频等离子体增强化学气相沉积法（AP-PECVD）制备了TiO_2纳米晶颗粒薄膜,研究了不同等离子体滞留时间下气相反应对沉积过程的影响.采用发射光谱（OES）测量拟合了等离子体的......
[期刊论文] 作者：戴林君,徐雨,SIDDIG Eshraga.A.A.,王德信,李雪,吴茂水,石建军,张菁,,
来源：东华大学学报(自然科学版) 年份：2017
采用常压射频等离子体增强化学气相沉积法(AP-PECVD)制备了TiO_2纳米晶颗粒薄膜,研究了不同等离子体滞留时间下气相反应对沉积过程的影响.采用发射光谱(OES)测量拟合了等离子...
[期刊论文] 作者：李灵均,戴林君,徐雨,SIDDIG Eshraga.A.A.,丁可,黄晓江,李惠,石建军,张菁,,
来源：东华大学学报（自然科学版） 年份：2018
常压等离子体增强化学气相沉积(AP-PECVD)薄膜的均匀性是AP-PECVD技术成功应用的关键问题之一.为此,通过基片的微位移实现了TiO2纳米颗粒薄膜的连续沉积,同时研究了基片的不...
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