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[期刊论文] 作者：Tamh.,SS,孟庆伟,
来源：低温与特气 年份：1991
在室温下工作的一台电子级气体纯化器最近由BOC集团技术中心研制成功。该纯化器可除掉几vppm的杂质,可使惰性气体中的CO、H_2、CO_2、H_2O和O_2等杂质含量降到...
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