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[会议论文] 作者:V.Bellido-Gonzalez,B.Daniel,D.Monaghan,J.Counsell, 来源:2009年薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会 年份:2009
Magnetron sputtermg is an mdustnal coating deposition technique which is commonly used in glass coatingmdustry in order to add functionality and properties to t...
[会议论文] 作者:V.Bellido-Gonzalez,B.Daniel,D.Monaghan,J.Counsell, 来源:2009年薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会 年份:2009
磁控溅射镀膜是工业沉积镀膜技术,通常是在玻璃涂料行业中使用,磁控溅射能增加基膜玻璃的功能和属性,如抗反射性能,导电性,低辐射等.磁控溅射时,膜层的成分与磁控溅射靶材有...
[会议论文] 作者:Alex Azzarpardi,Dermot Monaghan,V.Bellido-Gonzalez,Robert Brown, 来源:2012年广东省真空学会学术年会 年份:2012
  介绍一种不同于传统的磁场设计的新型的两个相邻旋转磁场形成的相连磁域的设计。此相连磁域具有改变基材等离子状态、更好控制等离子区中电子的运动及减少基材的受热的优...
[会议论文] 作者:Dermot Monaghan,V.Bellido-Gonzalez,Robert Brown,Alex Azzarpardi, 来源:2012年广东省真空学会学术年会 年份:2012
磁控溅射是真空沉积获得蒸发源的最广泛使用的技术。本文介绍了英国Gencoa公司一种新型的旋转磁控阴极,不同于传统的磁场设计,它拥有两个相邻旋转磁场形成的相连磁域,这种旋转阴......
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