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[期刊论文] 作者：曾晓梅,Vasiliy Pelenovich,Rakhim,
来源：物理学报 年份：2020
根据超声膨胀原理,n(10-10^4)个气体原子可以绝热冷却后凝聚在一起形成团簇,经过离化后,形成带一个电荷量的团簇离子,比如Arn^+.当团簇离子与固体材料相互作用时,由于平均每...
[期刊论文] 作者：Vasiliy Pelenovich,曾晓梅,罗进宝,Rak,
来源：物理学报 年份：2021
本文提出采用气体团簇离子束的两步能量修形法来改善4H-SiC(1000)晶片表面形貌.先用15 keV的高能Ar团簇离子进行整体修形,再用5 keV的低能团簇离子优化表面.结果表明,在相同...
[期刊论文] 作者：曾晓梅,Vasiliy Pelenovich,刘传胜,付德君,,
来源：Chinese Physics C 年份：2017
A gas cluster ion beam(GCIB) system with cluster energy up to 12 keV has been designed. To facilitate pumping of the nozzle chamber and increased pressure of th...
[期刊论文] 作者：罗进宝,Vasiliy Pelenovich,曾晓梅,郝中华,张翔宇,左文彬,付德君,
来源：物理学报 年份：2021
本研究提出采用两种不同的离子剂量比的气体团簇离子束多级能量模式来改善n-Si(100)单晶片的创伤表面.模式一采用低剂量的高能量团簇和高剂量的低能量团簇组合,模式二则采用高剂量的高能量团簇和低剂量的低能量团簇组合.结果证明,模式一的平坦化效果优于模式二,......
[期刊论文] 作者：曾晓梅,Vasiliy Pelenovich,Rakhim Rakhimov,左文彬,邢斌,罗进宝,张翔宇,付德君,,
来源：物理学报 年份：2020
一个电荷量的团簇离子,比如Ar+n.当团簇离子与固体材料相互作用时,由于平均每个原子携带的能量(～eV)根据超声膨胀原理,n(10—104)个气体原子可以绝热冷却后凝聚在一起形成团簇...
[期刊论文] 作者：Vasiliy Pelenovich,曾晓梅,罗进宝,Rakhim Rakhimov,左文彬,张翔宇,田灿鑫,邹长伟,付德君,杨兵,
来源：物理学报 年份：2021
本文提出采用气体团簇离子束的两步能量修形法来改善4H-SiC(1000)晶片表面形貌.先用15 keV的高能Ar团簇离子进行整体修形,再用5 keV的低能团簇离子优化表面.结果表明,在相同...
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