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[期刊论文] 作者：W.菲奇纳,刘鹿生,,
来源：电气技术 年份：2006
最近10年,计算机辅助设计技术(TCAD)的应用已在工业界和学术界普及。计算机硬件和软件迅猛发展和数值算法用的物理模型的精度、速度和鲁棒性显著提高,使TCAD作为晶片加工和计量的补充实验方法,成为降低成本的有效技术。......
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