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,The reliability of measurements on electron energy distribution function in silane rf glow discharg
[期刊论文] 作者：Lin Kui-Xun(林揆训),Lin Xuan-Ying(林璇英),Chi Ling-Fei(池凌飞),Yu Chu-Ying(余楚迎),Yao Ruo-He(姚若河),Yu Yun-Peng(余云鹏,
来源：中国物理（英文版） 年份：2003
Electron energy distribution function (EEDF) is a key parameter of plasmas, which is directly proportional to the second derivative of the probe I-V characteris...
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