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[期刊论文] 作者：牛德芳,沈月婷,庞济,仲崇权,Yin Fuliang,
来源：仪表技术与传感器 年份：2001
文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺，同时，对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明，并通过实验测试结果反映其结构的新颖......
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