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[期刊论文] 作者:Kong Ming,Yue Jian-Ling,Li Ge-, 来源:无机材料学报 年份:2006
通过对TiN/SiC、TiN/TiB2和TiN/SiO2纳米多层膜微结构和力学性能的研究,展示了通常溅射沉积态为非晶的SiC、TiB2和SiO2薄膜,在立方结构的TiN晶体层模板作用下的晶化现象,以及多层膜......
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