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heat-oxidation相关论文
La掺杂ZnO和SnO_2薄膜的气敏特性
真空蒸发沉积薄膜再经热氧化获得n型掺La的ZnO和SnO2薄膜(玻璃衬底).研究掺La含量与热氧化工艺对薄膜的物相结构、表面形貌和气敏特......
期刊
真空蒸发
LA掺杂
热氧化
ZnO
SnO2薄膜
气敏特性
vacuum evaporation
La-doped
heat-oxidation
ZnO
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