对硅－硅直接链合界面上的ＳｉＯ２进行了研究，借助高真空的ＡＥＳ和高分辨率的ＳＥＭ显微分析观察到界面上的ＳｉＯ２化学组成为非化学计量比的ＳｉＯ１．５，以类球形小岛状均匀......