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(HPCVD)相关论文
采用CVD异位退火和双温区HPCVD工艺制备MgB_2/B/MgB_2多层膜
介绍了采用了MgB2薄膜的化学气相沉积(CVD)异位退火和双温区混合物理化学气相沉积(HPCVD)制备技术,并以B膜作为势垒层在多晶的Al2O......
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