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β辐伏同位素电池相关论文
单晶硅表面钝化层在低能电子辐照前后的SIMS和XPS分析
为了研究低能电子辐照对单晶硅器件表面钝化材料中产生的化学微结构的变化,在轻掺杂P型单晶硅基底上制作了三种表面钝化膜,分别是......
期刊
表面钝化
低能电子辐照
SIMS
XPS
β辐伏同位素电池
surface passivation
low-energy electron radiation
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