本文采用微波等离子体化学气相沉积法（ＭＰＣＶＤ），高纯Ｎ２（９９．９９９％）和ＣＨ４（９９．９％）作反应气体，在多晶Ｐｔ（９９．９９％）基片上沉积Ｃ３Ｎ４薄膜。Ｘ－射线能谱（ＥＤＸ）分析结果表明Ｎ／Ｃ原子比为１．０～１．４，接近Ｃ３Ｎ４的化学比；Ｘ射线衍射......