θ相Al2Cu光刻胶清洗相关硕士博士期刊学术论文

侧壁孔洞缺陷是当前Al-Cu金属互连导线工艺中的主要缺陷之一。此种缺陷会导致电迁移，从而降低器件的可靠性。缺陷的产生是由于在干......