本文报道了ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ／ＧａＡｓ多层异质外延材料中高Ａｌ组份的ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ层在４００－５００℃与水汽（携带气体为Ｎ２）发生化学反应的氧化特性。其氧化反应是沿着ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ层从其刻蚀出的台面边界......