三维微力相关论文
结合光纤探针与四悬臂梁支撑结构的特点,研制了一种基于微探针形式,具有μN级三维微力测量和传感能力的压阻式三维微力探针传感器......
设计了一种基于压阻效应的微机电系统（MEMS）三维微力探针传感器并对其进行了性能测试.传感器传感单元采用四梁支撑结构,接触探针采用......
